〈工業技術與資訊〉相控陣列變頻微波技術 | Anue鉅亨 August 8, 2021 • Source: cnyes.com 工研院開發的「相控陣列變頻微波技術」，將此概念運用在半導體工業，可使晶圓品質更穩定，還能有效節能，獲工研院傑出研究獎金牌肯定。