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ASML DUV光刻机有多快?加速度高达7g、12秒完成一整片晶圆

• Source: techweb.com.cn
作为芯片生产过程中最关键装备的光刻机,有着极高的技术壁垒,有“半导体工业皇冠上的明珠”之称,代表着人类文明的智慧结晶。