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層層 Delayer SEM 卻仍找不到異常點 靠它解

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如何利用表面分析工具，抓出半導體製程缺陷

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5 奈米晶片 FIB 電路修補 到底難在哪?

作者
TechNews |
發布日期
2021 年 07 月 12 日 12:00 |
分類
晶片
| edit
7
奈米、5 奈米的晶片金屬線徑微小、金屬間距極窄，修補過程中如何維持電性完整正確？
隨著摩爾定律，目前市面上可見到的晶片已從 10 奈米、7 奈米不斷微縮 5 奈米製程，宜特 FIB 電路修補實驗室，陸續收到 5 奈米（nm）製程，必須從晶背進行電路修改樣品。這是從 2018 年首度完成 7 奈米（nm）製程的樣品後，再次挑戰更先進製程的電路修補，並成功的完成挑戰，協助客戶進行晶片性能優化，加速產品上市。宜特科技將與您分享，如何藉由多年的成功經驗，完成 7 奈米、5 奈米等級以下的先進製程 IC 晶背電路修補技術。

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宜特完成首例太空電子零件驗證

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