"사업장 탄소배출 줄여라" 삼성전자, 대체가스 개발 속도
"사업장 탄소배출 줄여라" 삼성전자, 대체가스 개발 속도 입력 2021-07-12 14:45 ▲삼성전자 클린룸 반도체 생산현장. 사진제공 삼성전자 삼성전자가 반도체 제조 공정에서 사용되는 공정 가스를 줄이기 위해 대체 가스 개발에 속도를 내고 있다. 탄소배출을 줄이기 위한 노력의 일환이다. 12일 삼성전자에 따르면 이 회사는 반도체 주요 공정 중에서 4대 공정에 적용되는 과불화탄소(PFCs)의 대체가스를 개발해 적용하고 있다. 2018년부터 일ë¶...