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　　光刻：将掩膜板上的图形曝光至预涂了光刻胶的晶圆表面上。光刻胶(正胶)受到照射的部分，将发生化学变化，从而易溶于显影液。光刻机是芯片制造的支柱设备，一般分为准直透镜系统(EUV 除外)、掩膜板对准系统、曝光系统等。光刻机设备的核心零部件包括光源、镜头以及精密结构等。 　　光刻机演变史，目前以步进式为主，EUV 应用于先进制程。光刻机在1985年之前，以g 线(436nm)为主；1985 年以后，出现少量i 线(365nm)光刻机；1990 年开始出现DUV �...

　　如何定义“皇冠上的明珠”？对此余定恒表示，既然是“皇冠”，那就不能是纯粹的周期行业，或者是规模较小的细分赛道。而是需要符合具备广阔发展空间，持续发展动能的大方向。而“明珠”则涵盖具有颠覆性技术、适应市场变化并能保持增长的前瞻性创新型公司。 　　余定恒介绍，在翼虎投资的框架中，有四大赛道开启通向“皇冠”之路——围绕医药、消费、科技、先进制造四大行业，分别对应人口老龄化、新兴消费、气候等主题。 　　...